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SJ 21266-2018 MEMS陀螺仪测试方法
标准号:
SJ 21266-2018
现行
SJ 21170-2016 MEMS惯性器件介质薄膜生长工艺技术要求
标准号:
SJ 21170-2016
现行
SJ 21164-2016 MEMS惯性器件圆片减薄抛光工艺技术要求
标准号:
SJ 21164-2016
现行
SJ 21166-2016 MEMS惯性器件划片工艺技术要求
标准号:
SJ 21166-2016
现行
SJ 21169-2016 MEMS惯性器件干法刻蚀工艺技术要求
标准号:
SJ 21169-2016
现行
SJ 21165-2016 MEMS惯性器件湿法腐蚀工艺技术要求
标准号:
SJ 21165-2016
现行
SJ 21171-2016 MEMS惯性器件光刻工艺技术要求
标准号:
SJ 21171-2016
现行
SJ 21168-2016 MEMS惯性器件金属薄膜生长工艺技术要求
标准号:
SJ 21168-2016
现行
SJ 21167-2016 MEMS惯性器件圆片键合工艺技术要求
标准号:
SJ 21167-2016
现行
SJ/Z 9011.3-1987(2017) 光敏器件的测试 第3部分:用于可见光谱的光电导管的测试方法
标准号:
SJ/Z 9011.3-1987(2017)
现行
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