标准详情
- 标准名称:气相二氧化硅生产用四氯化硅
- 标准号:T/FSI 003-2016
- 发布日期:2017-04-10
- 实施日期:2017-06-01
- 中国标准号:/C2619
- 国际标准号:71.100.99
- 团体名称:中国氟硅有机材料工业协会
- 标准分类:其他化工产品其他基础化学原料制造
气相二氧化硅生产用四氯化硅的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和安全
本标准适用于多晶硅副产四氯化硅、三氯氢硅副产四氯化硅以及其它方法制得的四氯化硅,该四氯化硅满足气相二氧化硅生产原料的质量要求
范围、规范性引用、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、安全
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