T/CCGA 30001-2019 超纯氨
T/CCGA 30001-2019
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内容简介
本标准规定了超纯氨产品的技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于工业液氨通过吸附预纯化、精馏提纯、终端纯化生产的超纯氨产品。该产品是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，是半导体、光电子领域、发光二极管（LED）行业的重要原材料。
起草单位
苏州金宏气体股份有限公司、中国工业气体工业协会
起草人
金向华、许军州、洑春干、魏入铎、庄坤华、宋芳芳
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