T/ZZB 1373-2019 7N 光电子级超纯氨
T/ZZB 1373-2019
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内容简介
本标准规定了7N光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。本标准规定的产品氨适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相沉积，也可用于硅或氧化硅的氮化等生产工艺所使用的氨气。分子式：NH3。相对分子质量：17.031（按2016年国际相对原子量）。
起草单位
本标准由浙江蓝箭万帮标准技术有限公司牵头组织制定。 本标准主要起草单位：海宁市英德赛电子有限公司。 本标准参与起草单位：浙江理工大学、嘉兴学院、杭州士兰明芯科技有限公司（排名不分先后）。
起草人
陈树大、戚栋明、周春阳、朱盛霞、周平、彭昆鹏、查春峰、潘佳伟、卢勇华、 王龙、赵晓兰、陈华燕（排名不分先后）。
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