标准详情
- 标准名称：多晶硅制造业绿色工厂评价要求
- 标准号：T/CESA 1082-2020
- 发布日期：2020-06-20
- 实施日期：2020-06-20
- 中国标准号：/C398
- 国际标准号：13.020.01
- 团体名称：中国电子工业标准化技术协会
- 标准分类：环境和环境保护综合电子元件及电子专用材料制造
T/CESA 1082-2020 多晶硅制造业绿色工厂评价要求
T/CESA 1082-2020
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内容简介
本标准规定了多晶硅制造业绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序和报告格式等。本标准适用于对运用三氯氢硅法和硅烷法生产多晶硅产品的工厂进行评价，运用其他工艺方法生产制造多晶硅产品的工厂可参照使用。
起草单位
中国电子技术标准化研究院、北京赛西认证有限责任公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、新特能源股份有限公司、青海省亚硅硅材料工程技术有限公司、施耐德电气（中国）有限公司上海分公司、内蒙古通威高纯晶硅有限公司
起草人
李胡升、杨檬、周航、郑连基、邱艳梅、甘易武、鲍守珍、徐磊、李寿琴
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