标准详情
- 标准名称：MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法
- 标准号：T/ZOIA 30001-2022
- 发布日期：2022-12-29
- 实施日期：2022-12-29
- 中国标准号：L50/C3990
- 国际标准号：31.260
- 团体名称：中关村光电产业协会
- 标准分类：其他电子设备制造
T/ZOIA 30001-2022 MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法
T/ZOIA 30001-2022
团体标准 推荐性 现行
收藏
报错
内容简介
本标准规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及测试报告等内容。本标准适用于多种半导体材料上MEMS高深宽比刻蚀结构的深度测量。刻蚀结构包括但不限于单体和阵列的沟槽、柱和孔等。
起草单位
中国科学院微电子研究所、中关村光电产业协会、天津大学、北京绿色制造产业联盟、凌云光技术股份有限公司、北京大学、中国计量科学研究院、北京总部企业协会
起草人
陈晓梅、霍树春、卢永红、胡春光、杨艺、曲扬、杨芳、施玉书、马晓雪、谷焱绯
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，仅供个人标准化学习、研究使用。如有侵权，请及时联系我们！