标准详情
- 标准名称:IC类半导体固晶机技术规范
- 标准号:T/SZBSIA 006-2022
- 发布日期:2022-09-23
- 实施日期:2022-09-24
- 中国标准号:/C356
- 国际标准号:25-010
- 团体名称:深圳市宝安区半导体行业协会
- 标准分类:电子和电工机械专用设备制造
本文件规定了半导体固晶机的术语和定义、结构与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、使用说明书与标志、包装、运输和储存。本文件适用于IC类半导体固晶机。
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