标准详情
- 标准名称:wgk型微控扩散系统完好要求和检查评定方法
- 标准号:SJ/T 31112-1994
- 发布日期:1997-01-01
- 实施日期:1997-01-01
- 中国标准号:CCS11,
- 国际标准号:
- 代替标准:
- 技术归口:
- 主管部门:
- 标准分类:电子元器件与信息技术电子工业生产设备其他生产设备
本标准规定了WGK型微控扩散系统的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于WGK型微控扩散系统。
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