SJ 1550-1979 硅外延片检测方法

标准详情

• 标准名称：硅外延片检测方法
• 标准号：SJ 1550-1979
• 发布日期：1980-03-01
• 实施日期：1980-06-01
• 中国标准号：CCS8,
• 国际标准号：
• 代替标准：
• 技术归口：
• 主管部门：
• 标准分类：冶金半金属与半导体材料半金属