GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备
Laser lift-off equipment used for GaN
GB/T 37466-2019
国家标准 推荐性 现行
收藏
报错
内容简介
国家标准《氮化镓激光剥离设备》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位
东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院、
起草人
孙永健、刘鹏、汪青、丁晓民、冯亚彬、
相近标准
20130019-T-469氮化镓激光剥离设备GB/T30854-2014LED发光用氮化镓基外延片20110046-T-469LED发光用氮化镓基外延片GB/T37053-2018氮化镓外延片及衬底片通用规范20110049-T-469氮化镓外延片及衬底片通用规范氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法20193166-T-469氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法20151534-T-469氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法GB/T36705-2018氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，仅供个人标准化学习、研究使用。如有侵权，请及时联系我们！