标准详情
- 标准名称：半导体单晶硅生长用石英坩埚
- 标准号：T/CEMIA 023-2021
- 发布日期：2021-07-15
- 实施日期：2021-12-25
- 中国标准号：L90/C398
- 国际标准号：31-030
- 团体名称：中国电子材料行业协会
- 标准分类：电子元件及电子专用材料制造零件结构件电子设备与专用材料
T/CEMIA 023-2021 半导体单晶硅生长用石英坩埚
T/CEMIA 023-2021
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内容简介
本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，并规定了尺寸偏差、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存本文件适用于以高纯石英砂（成份：二氧化硅）为原料，采用电弧熔融法生产，用于半导体单晶硅生长用石英坩埚本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，并规定了尺寸偏差、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。本文件适用于以高纯石英砂（成份：二氧化硅）为原料，采用电弧熔融法生产，用于半导体单晶硅生长用石英坩埚。
起草单位
内蒙古欧晶科技股份有限公司、锦州佑鑫石英科技有限公司、江西中昱新材料科技有限公司、宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司、常州裕能石英科技有限公司、江阴龙源石英制品有限公司、江苏中天科技股份有限公司、北京雅博石光照明器材有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司、湖南黎辉新材料科技有限公司、中国建筑材料科学研究总院有限公司。
起草人
何文兵、陈曼、苏光都、杜兴林、李宗辉、王文庆、朱旦、李晓航、朱剑、徐晓军、 王君伟、王慧、韩东、李秀英、钱宜刚、贾建亮、万鹏远、潘志华、杨军、周锐
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