T/ICMTIA 2-2019 集成电路用过氧化氢
T/ICMTIA 2-2019
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内容简介
本标准规定了集成电路用过氧化氢(H2O2)的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于集成电路制造过程中使用的过氧化氢。分子式:H2O2相对分子质量:34.01(按2011年国际相对原子质量)
起草单位
苏州晶瑞化学股份有限公司、同济大学、北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、黎明化工研究设计院有限责任公司
起草人
刘兵、钱森林、王洪华、傅华、高小云、康劲、葛军、赵健、柴春玲、赵晓东、张惠平
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