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SJ/T 1542-2020 电真空器件用镍及镍合金化学分析方法

SJ/T 1542-2020 电真空器件用镍及镍合金化学分析方法

SJ/T 1542-2020

行业标准-电子 推荐性 现行
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标准详情

  • 标准名称:电真空器件用镍及镍合金化学分析方法
  • 标准号:SJ/T 1542-2020
  • 发布日期:2020-12-09
  • 实施日期:2021-04-01
  • 中国标准号:L90
  • 国际标准号:31.03
  • 代替标准:SJ/T 1542-1987
  • 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员
  • 主管部门:工业和信息化部
  • 标准分类:电子学电子

内容简介

行业标准《电真空器件用镍及镍合金化学分析方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员归口上报,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了电真空器件用镍及镍合金中碳、硫、磷、镍、钴、钨、锰、铁、硅的化学分析方法。本标准适用于电真空器件用镍及镍合金。

起草单位

中国电子技术标准化研究院、

起草人

张旭、张理、裴会川、

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