GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件

内容简介

国家标准《真空镀膜设备通用技术条件》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。

起草单位

上海曙光机械制造厂、

起草人

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