GB 12964-1991 硅单晶抛光片

标准详情

• 标准名称：硅单晶抛光片
• 标准号：GB 12964-1991
• 发布日期：1991-06-04
• 实施日期：1992-03-01
• 中国标准号：8Q
• 国际标准号：
• 代替标准：
• 技术归口：
• 主管部门：
• 标准分类：冶金半金属与半导体材料元素半导体材料