SJ/T 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳
SJ/T 11517-2015
行业标准-电子 推荐性 现行
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内容简介
行业标准《电子工业用气体 一氧化碳》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
起草单位
西南化工研究设计院有限公司、广东华南特种气体研究所有限公司等、上海华爱色谱分析技术有限公司、
起草人
万华、王新鹏、吴平修、
相近标准
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