当前位置:主页行业标准

XB/T 515-2020 钪铝合金靶材

XB/T 515-2020 钪铝合金靶材

XB/T 515-2020

行业标准-稀土 推荐性 现行
收藏 报错

标准详情

内容简介

行业标准《钪铝合金靶材》,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了钪铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则与标志、包装、运输、贮存及质量证明书。本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材,主要用于半导体及光电等领域。

起草单位

起草人

相近标准

20110426-T-610电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材GB/T29658-2013电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材YS/T1234-2018铬钼合金(CrMo)靶材YS/T1129-2016钨钛合金靶材YS/T1235-2018钼钛合金(MoTi)靶材20211926-T-610金及金合金靶材金及金合金靶材集成电路用高纯铜合金靶材20182007-T-610集成电路用高纯铜合金靶材YS/T1357-2020磁记录用铬钽钛合金溅射靶材

* 特别声明:资源收集自网络或用户上传,仅供个人标准化学习、研究使用。如有侵权,请及时联系我们!