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GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件

GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件

Vacuum coating plant generic specification

GB/T 11164-2011

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标准详情

  • 标准名称:真空镀膜设备通用技术条件
  • 标准号:GB/T 11164-2011
  • 发布日期:2011-11-21
  • 实施日期:2012-03-01
  • 中国标准号:J78
  • 国际标准号:23.160
  • 代替标准:GB/T 11164-1999
  • 技术归口:全国真空技术标准化技术委员会
  • 主管部门:中国机械工业联合会
  • 标准分类:流体系统和通用件真空技术

内容简介

国家标准《真空镀膜设备通用技术条件》由TC18(全国真空技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国机械工业联合会。

起草单位

北京北仪创新真空技术有限责任公司、兰州真空设备有限责任公司、中国航天科技集团第五研究院510研究所等、上海曙光机械制造厂有限公司、成都南光机器有限公司、

起草人

陈月增、谢钧荣、温发兰、范立群、孙凯、

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