标准详情
- 标准名称：硅单晶微缺陷的化学腐蚀检验方法
- 标准号：GB 4057-1983
- 发布日期：1983-12-20
- 实施日期：1984-12-01
- 中国标准号：8Q
- 国际标准号：
- 代替标准：
- 技术归口：
- 主管部门：
- 标准分类：冶金金属理化性能试验方法金属化学性能试验方法
GB 4057-1983 硅单晶微缺陷的化学腐蚀检验方法
singie crystal sllicon-detection of microdefects-chemical etching technique
GB 4057-1983
国家标准 推荐性 已作废
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内容简介
起草单位
峨眉半导体材料研究所
起草人
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