YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材
YS/T 936-2013
行业标准-有色金属 推荐性 现行
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内容简介
行业标准《集成电路器件用镍钒合金靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
起草单位
有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等、
起草人
董亭义、何金江、
相近标准
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