SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范
SJ/T 11516-2015
行业标准-电子 推荐性 现行
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内容简介
行业标准《薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
起草单位
深圳清溢光电股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
起草人
万承华、张沛、熊启龙、
相近标准
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