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T/CEMIA 006-2018 膜厚监控用石英晶振片

T/CEMIA 006-2018 膜厚监控用石英晶振片

T/CEMIA 006-2018

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标准详情

  • 标准名称:膜厚监控用石英晶振片
  • 标准号:T/CEMIA 006-2018
  • 发布日期:2018-12-14
  • 实施日期:2019-03-14
  • 中国标准号:L21/C419
  • 国际标准号:31.140
  • 团体名称:中国电子材料行业协会
  • 标准分类:其他未列明制造业石英晶体

内容简介

本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。

起草单位

唐山万士电子有限公司、武汉海创电子股份有限公司,唐山国芯晶源电子有限公司、北京晨晶电子有限公司,江苏省东海硅产业科技创新中心。

起草人

王丽娟、毛晶、张立强、宫桂英、李健德、李剑、李洁、陈中康、张翔

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