SJ/T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范
SJ/T 11576-2016
行业标准-电子 推荐性 现行
收藏
报错
内容简介
行业标准《喷雾式涂覆设备通用规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。标准主要内容包括喷雾式涂覆设备的术语和定义、技术要求(外观、安全、保护与报警功能、自动化功能、喷嘴、盒站、主轴转速、承片台等性能,胶膜厚度及均匀性)、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
起草单位
沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
起草人
贺立波、徐春旭、汪明波、
相近标准
JB/T12451-2015喷雾式动物防疫消毒机技术条件LY/T2685-2016航空静电喷雾设备应用技术规范SJ/T11130-1997编织设备通用规范SJ/T11184-1998显影设备通用规范DB37/T1009-2008灌浆涂覆型薄膜通用技术条件MT/T164-2019矿用涂覆布风筒通用技术条件XF534-2005脉冲气压喷雾水枪通用技术条件MT503-1996光控自动喷雾降尘装置通用技术条件MT504-1996触控自动喷雾降尘装置通用技术条件MT/T503-2019光控自动喷雾降尘装置通用技术条件
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，仅供个人标准化学习、研究使用。如有侵权，请及时联系我们！