SJ/T 10479-2016 自动砂轮划片机
SJ/T 10479-2016
行业标准-电子 推荐性 现行
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内容简介
行业标准《自动砂轮划片机》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。标准主要内容包括技术要求(包含外观、工作行程、工作精度、主轴精度、工作台精度、开槽宽度、保护功能、噪声、试运行、试划片、可靠性试验和运输试验)、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
起草单位
沈阳仪表科学研究院有限公司、晶能光电（江西）有限公司等、国家仪器仪表元器件质量监督检测中心、
起草人
张仕卿、曾艳丽、刘光恒、
相近标准
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