YS/T 1508-2021 钯蒸发料
YS/T 1508-2021
行业标准-有色金属 推荐性 现行
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内容简介
行业标准《钯蒸发料》，主管部门为工业和信息化部。本文件规定了钯蒸发料的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。 本文件适用于半导体行业用的钯蒸发料。
起草单位
起草人
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