SJ/T 31083-2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
SJ/T 31083-2016
行业标准-电子 推荐性 现行
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内容简介
行业标准《真空镀膜设备完好要求和检查评定方法》由中国电子技术标准化研究院归口上报，主管部门为工业和信息化部。规定了真空镀膜设备的完好要求和检查评定方法
起草单位
中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第五十四研究所、中国电子节能技术协会、
起草人
彭海涛、杨红伟、家秀云、
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