YS/T 1141-2016 钛蒸发料
YS/T 1141-2016
行业标准-有色金属 推荐性 现行
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内容简介
行业标准《钛蒸发料》,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。
起草单位
起草人
相近标准
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