SJ/T 11506-2015 集成电路用 铝腐蚀液
SJ/T 11506-2015
行业标准-电子 推荐性 现行
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内容简介
行业标准《集成电路用 铝腐蚀液》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
起草单位
江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
起草人
戈士勇、何珂、王周霞、
相近标准
GB/T12842-1991膜集成电路和混合膜集成电路术语SJ/T11507-2015集成电路用氧化层缓冲腐蚀液GB/T8976-1996膜集成电路和混合膜集成电路总规范GB/T9178-1988集成电路术语GB/T15138-1994膜集成电路和混合集成电路外形尺寸GB/T16465-1996膜集成电路和混合膜集成电路分规范(采用能力批准程序)JC/T2372-2016集成电路用石英舟20030159-T-339半导体器件集成电路第2-20部分：数字集成电路低压集成电路族规范GB/T17574.20-2006半导体器件集成电路第2-20部分：数字集成电路低压集成电路族规范GB/T13062-1991膜集成电路和混合膜集成电路空白详细规范(可供认证用)
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