SJ 21199-2016 卧式等离子增强化学气相淀积(PECVD)设备工艺验证方法

标准详情

• 标准名称：卧式等离子增强化学气相淀积(PECVD)设备工艺验证方法
• 标准号：SJ 21199-2016
• 发布日期：2016-01-01
• 实施日期：2016-01-01
• 中国标准号：CCS11,
• 国际标准号：522.558.
• 代替标准：
• 技术归口：
• 主管部门：
• 标准分类：电子学电子设备用机械构件电子元器件与信息技术电子工业生产设备电子工业生产设备综合