标准详情
- 标准名称:pet-5500型常压cvd完好要求和检查评定方法
- 标准号:SJ/T 31125-1994
- 发布日期:1997-01-01
- 实施日期:1997-01-01
- 中国标准号:CCS11,
- 国际标准号:
- 代替标准:
- 技术归口:
- 主管部门:
- 标准分类:电子元器件与信息技术电子工业生产设备表面防护设备
本标准规定了PET-5500型CVD的完好要求和检查、评定方法。 本标准只适用于PET-5500型CVD。
* 特别声明:资源收集自网络或用户上传,仅供个人标准化学习、研究使用。如有侵权,请及时联系我们!