GB/T 31225-2014 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法
Test method for the thickness of silicon oxide on Si substrate by ellipsometer
GB/T 31225-2014
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内容简介
国家标准《椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国科学院。
起草单位
上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心、
起草人
金承钰、李威、何丹农、张冰、梁齐、路庆华、
相近标准
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