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YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定?气相色谱质谱联用法

YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定?气相色谱质谱联用法

YS/T 987-2021

行业标准-有色金属 推荐性 现行
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标准详情

  • 标准名称:氯硅烷中碳含量的测定?气相色谱质谱联用法
  • 标准号:YS/T 987-2021
  • 发布日期:2021-12-02
  • 实施日期:2022-04-01
  • 中国标准号:H17
  • 国际标准号:77.040.30
  • 代替标准:YS/T 987-2014
  • 技术归口:
  • 主管部门:工业和信息化部
  • 标准分类:冶金金属材料试验制造业有色金属金属材料化学分析

内容简介

行业标准《氯硅烷中碳含量的测定?气相色谱质谱联用法》,主管部门为工业和信息化部。本文件规定了气相色谱质谱联用法测定氯硅烷中碳杂质含量的方法。 本文件适用于氯硅烷中碳杂质(包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷,统称甲基氯硅烷)含量的测定,测定范围 (质量分数)为 0.000 010%~0.10%。

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