SJ/T 31100-1994 离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法

标准详情

• 标准名称：离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法
• 标准号：SJ/T 31100-1994
• 发布日期：1994-04-15
• 实施日期：1997-01-01
• 中国标准号：CCS9,
• 国际标准号：
• 代替标准：
• 技术归口：
• 主管部门：
• 标准分类：机械金属切削机床特种加工机床