标准详情
- 标准名称：重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法
- 标准号：SJ 3248-1989
- 发布日期：1989-03-20
- 实施日期：1989-03-25
- 中国标准号：CCS1,
- 国际标准号：441.457.
- 代替标准：
- 技术归口：
- 主管部门：
- 标准分类：电气工程综合半导体材料标准化管理与一般规定技术管理
SJ 3248-1989 重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法
SJ 3248-1989
行业标准-电子 强制性 已作废
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内容简介
本标准规定了红外反射法测量重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的测量原理,仪器设备、样品制备、测量步骤。结果计算和精度等。 本标准适用于测量重掺砷化镓和磷化锢单晶载流子浓度,也适用于测量外延层的载流子浓度。
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