标准详情
- 标准名称：同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测试方法
- 标准号：SJ 3247-1989
- 发布日期：1989-03-20
- 实施日期：1989-03-25
- 中国标准号：CCS1,
- 国际标准号：441.457.
- 代替标准：
- 技术归口：
- 主管部门：
- 标准分类：电气工程综合半导体材料标准化管理与一般规定技术管理
SJ 3247-1989 同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测试方法
SJ 3247-1989
行业标准-电子 强制性 已作废
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内容简介
本标准规定了与衬底同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测量原理,仪器设备,样品制备测量步骤,结果计算和精度。 本标准适用于与衬底同型砷化镓外延层厚度的测量,衬底和外延层室温电阻率应分别小于0.02Ω cm和大于0.1ΩZ·cm,可测厚度大于2μm。
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