标准详情
- 标准名称:半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法
- 标准号:SJ 3249.2-1989
- 发布日期:1989-03-20
- 实施日期:1989-03-25
- 中国标准号:CCS1,
- 国际标准号:441.457.
- 代替标准:
- 技术归口:
- 主管部门:
- 标准分类:电气工程综合半导体材料标准化管理与一般规定技术管理
本标准规定了半绝缘砷化镓单晶中碳含量的红外吸收测量原理,仪器设备,样品制备,测量步骤,结果计算和精度。 本标准适用于测定半绝缘砷化镓单晶中替位碳含量,其最低检测限为4.0×10^(14)cm^(-3)
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