标准详情
- 标准名称：砷化镓和磷化铟材料载流子浓度剖面分布的测试方法－电化学电压电容法
- 标准号：SJ 3244.4-1989
- 发布日期：1989-03-20
- 实施日期：1989-03-25
- 中国标准号：CCS1,
- 国际标准号：441.457.
- 代替标准：
- 技术归口：
- 主管部门：
- 标准分类：电气工程综合半导体材料标准化管理与一般规定技术管理
SJ 3244.4-1989 砷化镓和磷化铟材料载流子浓度剖面分布的测试方法－电化学电压电容法
SJ 3244.4-1989
行业标准-电子 强制性 已作废
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内容简介
1.1 本标准规定了电化学电压电容法测量的原理、仪器和电解液要求、测量步骤、测量结果的计算。 1.2 本标准适用于载流子浓度10^(14)~10(19)cm^(-3)的n型和P型砷化镓、磷化铟,也适用于铝镓砷和镓铟砷磷材料载流子浓度剖面分布的测量。
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