SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范
SJ/T 11502-2015
行业标准-电子 推荐性 现行
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内容简介
行业标准《碳化硅单晶抛光片规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院等、北京天科合达蓝光半导体有限公司、
起草人
丁丽、郑红军、蔺娴、
相近标准
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