标准详情
- 标准名称：磷化铟单晶棒及片
- 标准号：SJ 3243-1989
- 发布日期：1989-03-20
- 实施日期：1989-03-25
- 中国标准号：CCS1,
- 国际标准号：441.457.
- 代替标准：
- 技术归口：
- 主管部门：
- 标准分类：电气工程综合半导体材料标准化管理与一般规定技术管理
SJ 3243-1989 磷化铟单晶棒及片
SJ 3243-1989
行业标准-电子 强制性 已作废
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内容简介
本标准规定了液封直拉法(LEC)生长的磷化铟单晶棒、片的牌号命名方法、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于制造光电器件、微波器件、集成电路衬底用的液封直拉磷化铟单晶棒、片。
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起草人
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