SJ 21122-2016 PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范

标准详情

• 标准名称：PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范
• 标准号：SJ 21122-2016
• 发布日期：2016-01-19
• 实施日期：2016-03-01
• 中国标准号：CCS8,
• 国际标准号：441.457.
• 代替标准：
• 技术归口：
• 主管部门：
• 标准分类：电气工程冶金半导体材料半金属与半导体材料元素半导体材料