GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS
GB/T 32817-2016
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内容简介
国家标准《半导体器件 微机电器件 MEMS总规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位
中机生产力促进中心、中北大学、大连理工大学、中国电子科技集团公司第十三研究所、南京理工大学、
起草人
李海斌、崔波、裘安萍、施芹、刘伟、石云波、杨拥军、刘冲、
相近标准
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