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GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范

GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范

Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS

GB/T 32817-2016

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标准详情

  • 标准名称:半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
  • 标准号:GB/T 32817-2016
  • 发布日期:2016-08-29
  • 实施日期:2017-03-01
  • 中国标准号:L55
  • 国际标准号:31.080.99
  • 代替标准:
  • 技术归口:全国微机电技术标准化技术委员会
  • 主管部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:电子学半导体分立器件其他半导体分立器件

内容简介

国家标准《半导体器件 微机电器件 MEMS总规范》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位

中机生产力促进中心、中北大学、大连理工大学、中国电子科技集团公司第十三研究所、南京理工大学、

起草人

李海斌、崔波、裘安萍、施芹、刘伟、石云波、杨拥军、刘冲、

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