SJ 21479-2018 磷化铟晶片研磨工艺技术要求

标准详情

• 标准名称：磷化铟晶片研磨工艺技术要求
• 标准号：SJ 21479-2018
• 发布日期：2018-01-01
• 实施日期：2018-01-01
• 中国标准号：CCS8,
• 国际标准号：441.457.
• 代替标准：
• 技术归口：
• 主管部门：
• 标准分类：电气工程冶金半导体材料半金属与半导体材料化合物半导体材料